半导体技术继续在助力实现便携式、患者监控、诊断和疗法的新技术开发中扮演重要角色。MEMS传感器技术的突破也为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。
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针对可穿戴设备中的微机电系统（MEMS）陀螺仪在检测人体姿态时面临的人体自然抖动噪声干扰、随机噪声干扰等问题，在基于卡尔曼滤波理论的基础上，提出了采用新息自适应卡尔曼滤波器，辅以有限冲击响应（FIR）低通滤波器和均值滤波器构成的滤波器组的方案。
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传感器性能对MEMS和 ASIC参数的高度依赖性表明，闭环传感器的系统级设计需要做大量的折衷考虑，其中的ASIC噪声预算、激励电压、功耗和技术都高度依赖于MEMS参数。因此为了实现最优的传感器，强烈推荐基于传感器总体目标规格的ASIC与MEMS协同设计方法，而不是针对已经设计好的MEM再进行ASIC设计。
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射频工程师对射频前端器件提出了更高的要求，促使射频半导体厂商加速研发创新RF技术与解决方案，包括RF MEMS及软件定义无线电(SDR)、天线频率调整等新兴技术，已受到终端设备制造商关注。
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机电系统(MEMS)将机械和电子元件整合在微米级小型结构中。运用半导体与微製程技术，透过微机械加工将所有电子元件、感测器和机械元件整合至一片硅基板。MEMS系统的主要元件是机械单元、感测机制以及特定应用积体电路(ASIC)或微控制器。本文简要介绍MEMS加速度计感测器和陀螺仪，并探讨其工作塬理、感测机制以及目前市场上多样化的应用，以及对我们日常生活深远的影响。
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MEMS技术经过２０多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手，能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元（IMU）、MEMS麦克风和RF
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提出了一种以MEMS TOF(微电子机械系统可调光滤波器)和标准具作为波长选择元件，LC(液晶)作为相位补偿元件，平面反射镜提供光反馈的可调外腔半导体激光器结构。实际研制了该结构的激光器样品，实验测得该激光器的输出功率> 10 dBm，边模抑制比>50 dB，可调谐范围达到7 nm，线宽约为200 kHz。
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针对传统硅衬底介质损耗大的现象，通过软件电磁仿真手段分析不同电阻率硅衬底上微带线的传输特性，系统研究电阻率变化对硅衬底微波传输特性的影响，并与基于MEMS三维加工的低阻硅衬底进行比较。
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C12666MA是一款基于滨松的MEMS和图像传感器技术开发的超级紧凑（只有指尖大小）的光谱仪头。为目前世界最小的微型光谱仪。 由于采用了全新设计的光学系统，使尺寸大大减小，比之前的小型MS系列体积的一半还小。此外，密封封装提高了抗湿度性能。该产品适合集成到多种设备中，比如打印机以及需要进行色彩管理的手持颜色监控设备。还适于与可移动设备联合工作，比如智能手机和平板。
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随着光通信技术的迅速发展，MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点，将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种，常见的静电驱动方式有：梳状电极、SDA（scratch drive actuator）、悬臂驱动和扭臂驱动等。
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传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。
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微电子与微机械（MEMS）技术的发展，使现代传感器设计向微型化、智能化、集成化、微低功耗方向发展。MEMS技术突破了传统传感器设计受质量、体积、功耗等技术瓶颈的束缚，在各测量领域有着非常广泛的应用。
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